氦質譜檢漏儀常見故障處理辦法

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氦質譜檢漏儀是一種高精度、高靈敏度的檢漏設備，廣泛應用于航空航天、半導體、制冷系統等領域。然而，在使用過程中，由于各種原因，氦質譜檢漏儀可能會遇到各種故障。  
常見故障及處理方法  
一、氦質譜檢漏儀界面上TMP顯示“0”，即分子泵未工作  
故障現象：分子泵未啟動，TMP顯示“0”。  
故障原因：  
1.前級壓力過高（啟動壓力應小于200Pa）。  
2.真空規管有問題。  
3.分子泵出口未打開。  
4.機械泵油太臟或機械泵未轉動。  
5.系統有泄漏。  
6.分子泵葉片或轉子損壞。  
7.電路板保險絲燒斷或短路。  
處理方法：  
1.檢查并調整前級壓力。  
2.檢查真空規管是否正常。  
3.確保分子泵出口打開。  
4.更換機械泵油或檢查機械泵是否正常工作。  
5.檢查系統是否有泄漏點。  
6.自行用工具撥動分子泵葉片，判斷其是否能轉動。  
7.檢查并更換電路板保險絲，檢查是否有短路現象。  
二、燈絲無法正常啟動  
故障現象：機械泵和分子泵正常工作，但燈絲無法發射離子流。  
故障原因：  
1.離子源損壞。  
2.離子源航空插座與接線柱開路。  
處理方法：  
1.更換離子源。  
2.檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路則更換燈絲或消除短路現象。  
三、本底信號過高或不穩定  
故障現象：本底信號高于正常范圍或波動較大。  
故障原因：  
1.環境本底被污染。  
2.質譜室被污染。  
3.泵油吸附氦氣過多。  
4.電源電壓不穩定。  
處理方法：  
1.檢查實驗室內是否有氦源泄漏，通風降低環境本底。  
2.檢查泵油是否渾濁或吸附氦氣過多，必要時更換泵油。  
3.將檢漏儀送至維修中心清洗質譜室。  
4.檢查電源電壓是否穩定，使用穩壓電源。  
四、靈敏度低  
故障現象：檢漏靈敏度低，無法檢測到微小泄漏。  
故障原因：  
1.質譜室壓力未達到要求。  
2.離子源被污染。  
處理方法：  
1.等待質譜室壓力降至10^-6MPa以下再進行檢漏。  
2.檢查并清洗離子源。  
五、氦本底太高  
故障現象：檢漏時氦本底信號過高。  
故障原因：  
1.機械泵油失效。  
2.儀器系統有泄漏。  
3.真空管路污染。  
4.環境污染。  
處理方法：  
1.更換機械泵油。  
2.檢查儀器系統是否有泄漏，修復泄漏點。  
3.清洗真空管路。  
4.在檢漏口安裝氣瓶，減少環境氦污染。  
六、檢漏鍵無效  
故障現象：按檢漏鍵無反應。  
故障原因：  
1.燈絲未啟動或斷裂。  
2.I/O短接插頭未插入。  
處理方法：  
1.檢查燈絲是否啟動，若未啟動則更換燈絲。  
2.確保I/O短接插頭已插入儀器后面插座。

卓凱儀表

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艾克佐迪亞

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mt_zz

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