真空設(shè)備有哪些？

時(shí)間儀器

真空設(shè)備種類繁多，根據(jù)其功能和應(yīng)用領(lǐng)域可以分為以下幾類：  
真空獲得設(shè)備  
機(jī)械真空泵：包括旋片泵、往復(fù)泵、滑閥泵、羅茨泵、分子泵和液環(huán)泵等。這些泵通過機(jī)械運(yùn)動產(chǎn)生真空，適用于不同的真空度要求和應(yīng)用場景。  
蒸汽流真空泵：如水蒸汽噴射泵、油增壓泵和油擴(kuò)散泵等。這類泵利用蒸汽的高速流動來抽氣，常用于需要較高真空度的場合。  
氣體捕集真空泵：包括鈦濺射離子泵、低溫泵、分子篩吸附泵和鋯鋁吸氣泵等。它們通過吸附或凝結(jié)氣體分子來降低容器內(nèi)的氣壓，適用于高真空和超高真空環(huán)境。  
真空機(jī)組：由產(chǎn)生真空、測量真空和控制真空等組件組成的各類機(jī)組。這些機(jī)組可以集成多種泵和控制設(shè)備，以滿足復(fù)雜的真空需求。  
真空應(yīng)用設(shè)備  
真空鍍膜機(jī)：如蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺射鍍膜機(jī)、離子鍍膜機(jī)和等離子化學(xué)沉積裝置等。這些設(shè)備用于在材料表面沉積薄膜，廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)和材料科學(xué)領(lǐng)域。  
真空冶煉爐：包括電阻爐、電子束爐、電弧爐、感應(yīng)爐和單晶爐等。這些爐子在真空環(huán)境下進(jìn)行金屬的熔煉和提純，適用于高純度材料的制備。  
真空熱處理爐：如淬火爐、回火爐、退火爐、滲碳爐、滲氮爐和滲金屬爐等。這些爐子用于材料的熱處理，以改善其機(jī)械性能和耐腐蝕性。  
其他真空設(shè)備：如冷凍干燥設(shè)備、蒸餾設(shè)備、提純設(shè)備、浸漬設(shè)備、果蔬保鮮設(shè)備、運(yùn)輸設(shè)備、空間模擬設(shè)備、包裝機(jī)和鋼水脫氣裝置等。  
真空測量儀器  
低真空計(jì)：測量范圍為10^5---10^2Pa。  
中真空計(jì)：測量范圍為10^2---10^-1Pa。  
高真空計(jì)：測量范圍為10^-1---10^-5Pa。  
超高真空計(jì)：測量范圍小于10^-5Pa。  
真空檢漏儀  
高頻火花檢漏儀：用于檢測真空系統(tǒng)或元件的漏孔位置或漏率。  
鹵素檢漏儀：通過檢測鹵素氣體的泄漏來定位漏點(diǎn)。  
氦質(zhì)譜檢漏儀：利用氦氣作為示蹤氣體，通過質(zhì)譜分析來檢測泄漏。  
真空閥門  
插板閥：用于切斷或接通管路。  
擋板閥：通過擋板的開合來控制氣體流動。  
電磁閥：利用電磁力控制閥門的開啟和關(guān)閉。  
電磁帶放氣閥：結(jié)合電磁控制和放氣功能。  
隔膜閥：通過隔膜的彈性變形來控制流體的通斷。  
調(diào)節(jié)閥：用于調(diào)節(jié)流量。

Miraitowa

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