高溫環境下適用的4個類別的高溫振動傳感器

江蘇萬德儀表

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在高溫環境下，選擇合適的振動傳感器需要考慮多個因素，包括傳感器的工作溫度范圍、材料的耐高溫性能、結構設計的優化以及降低熱噪聲的措施。根據提供的信息，以下是一些適合高溫環境的振動傳感器類型及其特點：

?新型高溫振動傳感器?：一款專門為高溫測試環境設計的產品，工作溫度可達500C，采用特殊耐高溫壓電材料和金屬殼體，具有超低靈敏度溫度系數和低溫漂特性，以及方便的三角結構和差分結構設計?。

?MEMS陀螺儀?：MEMS陀螺儀因其小巧、低功耗和低成本的特點，在高溫環境下具有一定的應用潛力。然而，目前尚不能滿足在175C高溫條件下運行的需求?。

?多晶硅高溫壓力傳感器?：這類傳感器一般可用于200C以內的環境。它們采用多晶硅作為材料，通過特定的制備工藝實現電隔離，但存在熱應力和高溫漏電流增大的問題?。

?SOI高溫壓力傳感器?：SOI高溫壓力傳感器具有耐高溫特性，通過埋氧層隔絕壓敏電阻和硅襯底，避免了P-N結漏電問題。與多晶硅高溫壓力傳感器相比，SOI襯底的漏電流更低，更適合研制高溫傳感器，但存在敏感壓阻層與襯底之間的鍵合方式、熱應力和高溫漏電流增大等限制?。

jiusi

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