氦質譜檢漏儀原理

茂東機械

一、氦氣的特性

• 穿透性強：氦氣是一種分子量及粘滯系數小的惰性氣體，其分子尺寸非常小，能夠穿過非常小的漏孔或裂縫。
• 穩定性高：氦氣不易與其他物質發生化學反應，因此在使用過程中不會對被檢測物體產生影響。
• 本底噪聲低：氦氣的本底噪聲較低，有助于提高檢漏儀的靈敏度。
  

二、工作原理

• 氦氣注入：在使用氦質譜檢漏儀時，首先需要將氦氣注入被檢測物體的內部或周圍環境中。
• 離子化過程：在質譜室內，離子源發射出電子，這些電子在電離室內來回振蕩，與室內氣體和經漏孔進入電離室的氦氣相互碰撞，使其電離成正離子。這些氦離子在電場的作用下被加速并導向質譜分析器。
• 質譜分析：質譜分析器對離子進行分離和檢測。不同質量的離子在磁場中受到洛倫茲力的作用，產生偏轉并形成不同的圓弧形軌道。通過調整加速電壓和磁場強度，可以使不同質量的離子分別通過磁場和接收縫到達接收極并被檢測。
• 信號檢測與判斷：通過光電倍增管等檢測器檢測氦離子的信號強度，根據信號強度的變化可以判斷是否存在泄漏。如果存在泄漏，則氦離子會從漏孔中滲出并被檢測器捕捉到，從而產生相應的電信號輸出。
  

三、應用與特點

• 應用領域：氦質譜檢漏儀以其高精度、高靈敏度的特點，被廣泛應用于電力行業、航空航天、汽車工業、制冷行業以及真空行業等多個領域。
• 特點：能夠檢測到微量的氦氣泄漏，并且具有非常高的靈敏度。同時，由于氦氣的穩定性高、不易與其他物質發生反應，因此在使用過程中不會對被檢測物體產生影響。
  

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