白光干涉儀和共聚焦的區別是什么

xiaobaba

白光干涉儀和共聚焦顯微鏡都是微納米級表面光學分析儀器，具有非接觸式、高速度測量、高穩定性的特點，并都能表征微觀形貌的輪廓尺寸。然而，它們在測量原理、應用及特點上存在顯著的差異，以下是對兩者的詳細比較：

一、測量原理
1.白光干涉儀
①利用白光干涉技術，結合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。
②通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，實現器件表面形貌的3D測量。

2.共聚焦顯微鏡
①利用共聚焦技術，通過放置在光源后的照明針孔和放置在檢測器前的探測針孔，實現點照明和點探測。
②來自光源的光通過照明針孔發射出的光聚焦在樣品焦平面的某個點上，該點所發射的熒光成像在探測針孔上，該點以外的任何發射光均被探測針孔阻擋。
③計算機以像點的方式將被探測點顯示在屏幕上，通過掃描系統在樣品焦平面上掃描，產生完整的共焦圖像。

二、應用及特點
1.白光干涉儀
①應用：多用于測量大范圍光滑的樣品，尤其擅長亞納米級超光滑表面的檢測，追求檢測數值的精準。
②特點：測量精度高，能夠提供高精度的表面形貌測量數據；測量范圍大，適用于大尺寸樣品的測量；具有自動拼接測量、定位自動多區域測量等功能，可實現大區域、高精度的測量。

2.共聚焦顯微鏡
①應用：更容易測陡峭邊緣，擅長微納級粗糙輪廓的檢測。
②特點：成像圖色彩斑斕，便于觀察；結構簡單，由輕量化的設備主機和電腦構成，便于攜帶和移動；操作便捷，采用全電動化設計，無縫銜接位移軸與掃描軸的切換；配備了真彩相機，提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現清晰。

綜上所述，白光干涉儀和共聚焦顯微鏡在測量原理、應用及特點上各有千秋。選擇哪種儀器取決于具體的測量需求和樣品特性。

855li

您的見解非常獨到，給了我很大的啟發。

你是人間理想

感謝作者的分享，讓我對這個話題有了更深入的思考。

keye3

我覺得還有其他因素也需要考慮。