白光干涉儀和共聚焦的區(qū)別是什么

xiaobaba

白光干涉儀和共聚焦顯微鏡都是微納米級(jí)表面光學(xué)分析儀器，具有非接觸式、高速度測(cè)量、高穩(wěn)定性的特點(diǎn)，并都能表征微觀形貌的輪廓尺寸。然而，它們?cè)跍y(cè)量原理、應(yīng)用及特點(diǎn)上存在顯著的差異，以下是對(duì)兩者的詳細(xì)比較：

一、測(cè)量原理
1.白光干涉儀
①利用白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。
②通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測(cè)量。

2.共聚焦顯微鏡
①利用共聚焦技術(shù)，通過(guò)放置在光源后的照明針孔和放置在檢測(cè)器前的探測(cè)針孔，實(shí)現(xiàn)點(diǎn)照明和點(diǎn)探測(cè)。
②來(lái)自光源的光通過(guò)照明針孔發(fā)射出的光聚焦在樣品焦平面的某個(gè)點(diǎn)上，該點(diǎn)所發(fā)射的熒光成像在探測(cè)針孔上，該點(diǎn)以外的任何發(fā)射光均被探測(cè)針孔阻擋。
③計(jì)算機(jī)以像點(diǎn)的方式將被探測(cè)點(diǎn)顯示在屏幕上，通過(guò)掃描系統(tǒng)在樣品焦平面上掃描，產(chǎn)生完整的共焦圖像。

二、應(yīng)用及特點(diǎn)
1.白光干涉儀
①應(yīng)用：多用于測(cè)量大范圍光滑的樣品，尤其擅長(zhǎng)亞納米級(jí)超光滑表面的檢測(cè)，追求檢測(cè)數(shù)值的精準(zhǔn)。
②特點(diǎn)：測(cè)量精度高，能夠提供高精度的表面形貌測(cè)量數(shù)據(jù)；測(cè)量范圍大，適用于大尺寸樣品的測(cè)量；具有自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量等功能，可實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測(cè)量。

2.共聚焦顯微鏡
①應(yīng)用：更容易測(cè)陡峭邊緣，擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè)。
②特點(diǎn)：成像圖色彩斑斕，便于觀察；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，由輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成，便于攜帶和移動(dòng)；操作便捷，采用全電動(dòng)化設(shè)計(jì)，無(wú)縫銜接位移軸與掃描軸的切換；配備了真彩相機(jī)，提供還原的3D真彩圖像，對(duì)細(xì)節(jié)的展現(xiàn)清晰。

綜上所述，白光干涉儀和共聚焦顯微鏡在測(cè)量原理、應(yīng)用及特點(diǎn)上各有千秋。選擇哪種儀器取決于具體的測(cè)量需求和樣品特性。

855li

您的見(jiàn)解非常獨(dú)到，給了我很大的啟發(fā)。

你是人間理想

感謝作者的分享，讓我對(duì)這個(gè)話題有了更深入的思考。

keye3

我覺(jué)得還有其他因素也需要考慮。