雙頻激光干涉儀原理

新興儀表

雙頻激光干涉儀是一種利用激光干涉原理來測量光程差的精密光學(xué)儀器，它通過將兩束具有微小頻率差的激光束進行干涉，利用干涉條紋的移動來測量被測量物體的位移、形變等參數(shù)。以下為雙頻激光干涉儀的原理介紹：
基本原理：雙頻激光干涉儀的核心是激光的干涉現(xiàn)象。激光具有高相干性和定向性，其頻率穩(wěn)定、波長單一。在雙頻激光干涉儀中，通常使用兩束具有微小頻率差的激光束進行干涉。這兩束激光束經(jīng)過分束器分成兩路，分別通過不同的光路傳播，然后再經(jīng)過反射鏡反射回來。當(dāng)這兩束激光束重新合并時，由于它們的頻率略有不同，會產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。
工作過程：激光器產(chǎn)生兩束具有微小頻率差的激光束；這兩束激光束經(jīng)過分束器分成兩路，分別通過不同的光路傳播；接著，它們再經(jīng)過反射鏡反射回來，重新合并時產(chǎn)生干涉現(xiàn)象；最后，通過控制其中一束激光的光程差，觀察干涉條紋的移動，從而實現(xiàn)對光程差的測量。
信號處理：在雙頻激光干涉儀中，兩個激光器發(fā)出的光束經(jīng)過分束器后，被分成兩條光路，分別稱為信號光路和參考光路。信號光路中的激光經(jīng)過一系列的光學(xué)元件，被引導(dǎo)到待測物體上，而參考光路中的光束直接通過一個干涉儀中的組合光柵，產(chǎn)生的分立的頻譜圖被傳感器記錄下來。通過計算信號光路中收集到的光束的干涉圖與參考光路中的頻譜圖之間的相位差，就可以得到待測物體的長度或形態(tài)信息。
優(yōu)勢特點：雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進行度量，即使不做細分也可達到μm量級，細分后更可達到nm量級。除了可用于長度的精密測量外，配上適當(dāng)?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等。由于其接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，沒有零點漂移等問題，且測量精度不受空氣湍流的影響，無需預(yù)熱時間。

恒瑞機械工程

感謝分享，受益匪淺！

球哈

回答很專業(yè)，長見識了。