干式螺桿真空泵工作原理

manwu1211

干式螺桿真空泵是一種無油潤滑的真空泵，廣泛應用于半導體制造、化工、制藥等行業，特別適合處理易燃、易爆、腐蝕性氣體。其工作原理基于一對相互嚙合但不接觸的螺旋形轉子（螺桿）的旋轉運動，具體過程如下：  
進氣階段：當螺桿旋轉時，位于泵入口處的空間體積逐漸增大，形成低壓區，外界氣體被吸入泵內。  
壓縮階段：隨著螺桿繼續旋轉，氣體被封閉在兩個螺桿之間的腔室內，并沿著螺桿軸向移動。在這個過程中，由于螺桿的嚙合，腔室的體積逐漸減小，氣體被壓縮，壓力升高。  
排氣階段：當氣體被壓縮至足夠高的壓力時，到達泵的出口位置，此時出口處的閥門開啟（對于無閥設計的泵，則是自然流出），被壓縮的氣體被排出泵外，完成一個工作循環。  
干式螺桿真空泵的關鍵特點是其內部無油操作，因此不會污染被抽氣體，同時具有較高的抽速和較低的極限壓力，能有效處理各種復雜工況下的氣體。此外，干式螺桿真空泵還具有結構緊湊、運行平穩、維護簡便等優點。

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謝謝你的見解，讓我對這個問題有了新的理解。

李小狼

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這篇文章的邏輯性很強，讓人一目了然，很有啟發性。