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膜厚儀的精度是多少

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樓主
發表于 2025-6-9 11:17:12 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
  膜厚儀的精度根據其測量原理、使用的技術和膜層材料的不同而有所不同。一般來說,膜厚儀的精度通常在納米(nm)到微米(μm)級別。下面是幾種常見類型的膜厚儀的精度范圍:
  1. 光學膜厚儀
  光學膜厚儀是常見的一種,使用干涉原理來測量膜層厚度。
  精度范圍:通常在1-10納米,對于一些高精度的儀器,精度可以達到0.1納米。
  應用:適用于薄膜較薄(如幾百納米或更薄)的測量,廣泛應用于半導體、光學薄膜和涂層行業。
  2. X射線熒光膜厚儀(XRF)
  適用于多層膜或復雜涂層的厚度測量。
  精度范圍:通常在1-5%的誤差范圍內,具體取決于膜層的材料和厚度。
  應用:適用于多層膜、復雜元素構成的涂層測量,如電子產品、電鍍層等。
  3. 磁感應膜厚儀
  主要用于測量非磁性涂層(如鍍金、鍍銀等)在磁性基材上的膜層厚度。
  精度范圍:通常為1-5%的誤差,具體精度根據膜層類型和厚度的不同而變化。
  應用:適用于金屬涂層、鍍膜等行業。
  4. 超聲波膜厚儀
  通過聲波反射時間來測量膜層厚度,通常用于較厚的膜層或金屬材料。
  精度范圍:一般為±1%,具體精度取決于基材的聲速和膜層的厚度。
  應用:適用于較厚的金屬膜層或其他硬質材料。
  5. 接觸式膜厚儀
  通過物理接觸的方式測量膜層的厚度。
  精度范圍:通常為±1微米或更高,精度較低但適用于厚膜測量。
  應用:適用于較厚膜層的測量,如涂層、薄板等。

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