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光柵尺精度可以到多少

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助理技師

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樓主
發表于 2025-5-19 15:16:27 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
光柵尺的精度范圍通常在±1μm/m到±15μm/m之間，分辨率可達1nm（取決于細分技術）。
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  • TA的每日心情
    擦汗
    2024-8-30 18:32

    • 簽到天數: 3 天

    [LV.2]偶爾看看I

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    技術員

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    沙發
    發表于 2025-11-11 23:13:30 | 只看該作者
    這個思路沒毛病，給了我很大的啟示。
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