俄歇電子能譜儀的基本原理

源本設備

俄歇電子能譜儀（AES）的基本原理是利用高能電子束與固體樣品相互作用，使原子內殼層電子電離并留下空位。較外層電子會躍遷至該能級，釋放的能量可以發射特征X射線光子或傳遞給另一個外層電子，導致進一步電離并發射具有特征能量的俄歇電子。通過檢測俄歇電子的能量和強度，可以獲得樣品表層化學成分的定性和定量信息。AES適用于輕元素分析，具有高表面靈敏度，廣泛應用于材料表面分析、失效分析、電子材料和納米材料研究等領域。

mttang

看完討論，感覺思路開闊了許多。