氦質(zhì)譜檢漏儀工作流程

安工科技

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種高靈敏度的氣體泄漏檢測(cè)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于真空系統(tǒng)、航空航天、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。其核心原理基于??質(zhì)譜分析技術(shù)??，通過檢測(cè)示蹤氣體（氦氣）的分子量來定位和量化泄漏。  
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作流程可分為以下幾個(gè)關(guān)鍵步驟：  
??（1）抽真空與氣體采樣??  
被測(cè)工件（如真空腔體、管道）連接至檢漏儀，通過真空泵抽至低真空（10??~10??Pa）。  
若存在泄漏，外部氦氣（He）會(huì)通過漏孔進(jìn)入系統(tǒng)，并被檢漏儀檢測(cè)。  
??（2）離子化與質(zhì)譜分析??  
進(jìn)入儀器的氣體分子（包括氦氣）在??離子源??中被電子轟擊，形成離子（如He?）。  
離子在??磁場(chǎng)（或四極桿）??中偏轉(zhuǎn)，不同質(zhì)荷比（m/z）的離子沿不同軌跡運(yùn)動(dòng)。  
氦離子（m/z=4）被??離子收集器??捕獲，轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。  
??（3）信號(hào)放大與檢測(cè)??  
微弱離子電流經(jīng)電子倍增器放大，轉(zhuǎn)換為可測(cè)量的電信號(hào)。  
信號(hào)強(qiáng)度與氦氣濃度成正比，從而計(jì)算泄漏率（單位：Pa·m3/s或mbar·L/s）。

唯有一劍

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