介紹白光干涉儀工作原理

綠源創(chuàng)科環(huán)保

　　白光干涉儀是一種高精度的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，在許多領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。
　　其工作原理基于光的干涉現(xiàn)象。白光干涉儀使用的光源為寬譜白光，包含了多種波長(zhǎng)的光。當(dāng)一束白光入射到被測(cè)物體表面時(shí)，一部分光被反射回來(lái)，形成反射光；另一部分光透過(guò)被測(cè)物體表面，形成透射光。
　　反射光和透射光會(huì)沿著不同的路徑傳播，最終在干涉儀的探測(cè)器處相遇。由于這兩束光經(jīng)歷的光程不同，會(huì)產(chǎn)生光程差。
　　當(dāng)光程差等于光源中某一波長(zhǎng)的整數(shù)倍時(shí)，該波長(zhǎng)的光就會(huì)發(fā)生相長(zhǎng)干涉，表現(xiàn)為亮條紋；當(dāng)光程差等于光源中某一波長(zhǎng)的半整數(shù)倍時(shí)，該波長(zhǎng)的光就會(huì)發(fā)生相消干涉，表現(xiàn)為暗條紋。
　　由于白光包含了多種波長(zhǎng)的光，不同波長(zhǎng)的光會(huì)在不同位置形成干涉條紋。通過(guò)對(duì)干涉條紋的分析和處理，可以得到被測(cè)物體表面的形貌、高度等信息。
　　在實(shí)際測(cè)量中，通過(guò)移動(dòng)干涉儀中的一個(gè)光學(xué)元件，改變光程差，從而得到一系列的干涉圖像。然后利用專門的算法對(duì)這些圖像進(jìn)行處理，就能夠精確地測(cè)量出被測(cè)物體表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌特征。
　　白光干涉儀具有非接觸式測(cè)量、高精度、高分辨率等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)Ω鞣N材料的表面進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的測(cè)量，在半導(dǎo)體制造、光學(xué)加工、材料科學(xué)研究等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。

黑達(dá)克拉

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九月十四日

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