掃描電子顯微鏡(SEM)是一種利用高能電子束掃描樣品表面,通過收集激發出的二次電子、背散射電子等信號來獲取樣品表面形貌和結構信息的電子光學儀器。以下是對其原理的詳細介紹:
基本工作原理
主要組成部分
技術特點