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標題:
掃描電鏡的工作原理
[打印本頁]
作者:
早安瑪卡巴卡
時間:
2024-10-9 08:30
標題:
掃描電鏡的工作原理
掃描電子顯微鏡(SEM)是一種利用電子束掃描樣品表面并獲得高分辨率圖像的儀器。其工作原理可以分為以下幾個主要步驟:
1.
電子束產(chǎn)生
電子槍
:在真空環(huán)境中,電子槍通過加熱或場發(fā)射的方式發(fā)射出自由電子。常見的電子源包括鎢絲和場發(fā)射陰極。
2.
電子束聚焦
透鏡系統(tǒng)
:發(fā)射出的電子經(jīng)過電磁透鏡的聚焦形成細小的電子束。透鏡的調(diào)節(jié)可以控制電子束的直徑和強度。
3.
樣品掃描
掃描線圈
:由掃描線圈控制電子束在樣品表面上快速橫向移動,按行掃描樣品。這種方式類似于電視圖像的刷新過程。
4.
與樣品相互作用
當電子束撞擊樣品表面時,發(fā)生多種相互作用:
二次電子
:從樣品表面逸出的低能電子,用于產(chǎn)生樣品的表面圖像。
反射電子
:高能電子反彈產(chǎn)生的信息,提供樣品的成分和結構信息。
特征X射線
:通過激發(fā)樣品中的原子發(fā)出特征X射線,提供樣品的元素組成信息。
5.
信號收集
探測器
:收集產(chǎn)生的二次電子和其他信號。常用的探測器有二次電子探測器(SED)和反射電子探測器(BED)。
6.
圖像形成
圖像顯示
:探測器將收集到的信號轉化為電信號,經(jīng)過放大和處理后,形成圖像并在屏幕上顯示。圖像的灰度與信號的強度有關,可以反映樣品的表面形貌和結構。
7.
數(shù)據(jù)分析
圖像可以進一步處理和分析,以獲取關于樣品的更多信息,如尺寸、形狀、表面粗糙度等。
優(yōu)點
SEM具有高分辨率(可達到納米級)和較大的景深,適合觀察樣品的微觀結構。
應用
SEM廣泛應用于材料科學、生命科學、半導體工業(yè)以及納米技術研究等領域。
作者:
expert360
時間:
2024-10-9 08:43
學習了學習了
作者:
Dodiemo
時間:
2024-10-24 04:11
看來大家都對這個話題很感興趣呢。
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