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標題: 離子濺射儀的維護與保養方法 [打印本頁]

作者: sgqt    時間: 2024-9-6 15:08
標題: 離子濺射儀的維護與保養方法
  離子濺射儀是一種緊湊的臺式涂層系統,特別適用于掃描電子顯微鏡成像中非導電樣品的高質量涂層。樣品的干燥和清潔是離子濺射涂層的基本要求。如有必要,應在交換樣品和陰極的位置用火花放電清潔樣品表面,然后在濺射涂層前恢復樣品。鐵、鎳、銅和鉛通常用作離子濺射儀器的陰極材料。
  離子濺射儀的維護與保養方法:
  在掃描電子顯微鏡的樣品預處理中,在樣品表面鍍金和提高樣品的導電性是離子濺射儀的主要用途。多年來,經常出現無法正常鍍金的錯誤報告,需要進行維護。

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  1、調整真空度
  如果樣本倉內壁清潔后仍報告錯誤,請注意儀器的真空度。通常,鍍金過程中腔室中的壓力為7Pa。當壓力保持在6Pa或更低時,很容易報告錯誤。將樣品放置到位,蓋上樣品箱,啟動鍍金程序,觀察儀表板上的壓力變化。
  當儀器前面的第二個指示燈(調整真空度)閃爍時,調整下面的旋鈕。當它順時針旋轉時,壓力會增加,當它逆時針旋轉時壓力會降低。根據需要小心地將其調節至約7Pa,以便儀器能夠正常電鍍。
  2、清潔樣本箱
  儀器使用過程中,樣品倉內壁會有污染物沉積。通常使用前會用干凈的布或紙擦拭,然后用耳球吹。當儀器長時間使用時,會有許多金顆粒附著在內壁的下邊緣,這很難擦除。可以在樣品倉中涂上金屬拋光膏,然后用紙反復擦拭,這樣更容易清潔,然后用酒精清洗。


作者: 軟軟小團子    時間: 2024-9-11 21:40
感謝分享,這對我很有幫助。
作者: 過往云煙    時間: 2024-9-18 15:07
樓上,邏輯嚴密,論據充實,學習!
作者: 飄搖a    時間: 2024-9-18 22:01
謝謝你的解答,我的問題已經得到了解決。




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