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標題: 高精密冷水機故障處理指南 [打印本頁]

作者: ninali    時間: 2025-8-15 14:32
標題: 高精密冷水機故障處理指南
高精密冷水機一旦發生故障,將直接影響關鍵工藝(如光刻、激光加工、**成像)的穩定性。快速定位并解決故障需結合系統報警、運行參數與物理檢查。以下為常見故障的排查流程與處理方案:  
??一、核心故障:溫度控制失效(超溫/低溫/波動大)??  
??現象表現:??  
?出水溫度持續高于/低于設定值  
?溫度波動范圍超過±0.1℃(如達±1℃以上)  
?設備報“溫度偏差過大”警報  
??排查步驟:??  
1.檢查傳感器狀態:??  
?校準偏移:??對比蒸發器進/出口傳感器讀數與手持高精度測溫儀(如Fluke測溫儀)實測值。若偏差>0.1℃,需重新校準或更換Pt1000傳感器。  
?接線松動:??檢查傳感器端子是否氧化、虛接,重新緊固。  
?探頭損壞:??觀察探頭護套是否破裂,導線絕緣層是否磨損。  
2.驗證制冷系統能力:??  
?冷媒泄漏:??  
?觀察視液鏡是否有氣泡(運行狀態應全液態)。  
?檢測高低壓表數值:低壓持續偏低(<2bar)且高壓正常,可能泄漏。  
?用鹵素檢漏儀掃描壓縮機接頭、閥門、焊點。  
?處理:??定位漏點→補焊/更換部件→抽真空→按標準充注冷媒(需稱重)。  
?膨脹閥故障:??  
?檢查EEV步進電機是否卡滯(手動調節測試)。  
?測量蒸發器出口過熱度:正常值5-8K。若過高(>15K)可能閥開度不足;過低(<2K)可能閥開度過大或感溫包失效。  
?處理:??重置EEV參數或更換閥體。  
?冷凝器效率下降:??  
?風冷型:??翅片積塵>50%需清洗(用高壓**反向吹掃)。  
?水冷型:??檢查冷卻塔水溫(應<32℃),清洗冷凝器水側(化學除垢)。  
?壓縮機降容:??  
?變頻壓縮機頻率是否達上限(如100Hz)仍無法降溫?可能冷媒不足、冷凝器堵塞或壓縮機磨損。  
3.評估水力循環系統:??  
?流量不足:??  
?檢查泵出口壓力是否低于額定值(如<2bar)。  
?清洗過濾器(壓差>0.5bar需更換濾芯)。  
?排查管路閥門是否誤關、Y型過濾器堵塞。  
?三通閥失效:??  
?觀察閥開度反饋信號是否隨溫度變化(正常應動態調節)。  
?手動測試閥門動作是否卡澀(需斷電操作)。  
?處理:??更換閥門定位器或整體閥。  
4.控制系統邏輯錯誤:??  
?檢查PID參數是否被誤修改(如比例帶過寬、積分時間過長)。  
?恢復出廠PID設置后重新自整定。  
??二、關鍵故障:高精密冷水機流量異常(低流量/斷流)??  
??現象表現:??  
?報“流量開關報警”或“泵故障”  
?管路手感無振動/無水流聲  
?壓力表顯示接近零  
??排查步驟:??  
1.泵系統檢查:??  
?電源相位:??三相泵確認相序正確(反轉會導致不出水)。  
?葉輪卡死:??斷電后手動盤動泵軸,若無法轉動需拆解清除異物(如密封碎片)。  
?絕緣電阻:??用兆歐表測量電機繞組對地電阻(應>2MΩ),過低則線圈受潮。  
2.水路堵塞驗證:??  
?分段隔離法:??  
?關閉負載端閥門,若泵壓恢復→堵塞點在負載設備(如激光器內部微通道)。  
?拆開過濾器檢查濾網是否被雜質(水垢/氧化皮)完全覆蓋。  
3.傳感器誤報:??  
?短接流量開關接線測試是否仍報警(若消除則為開關故障)。  
?檢查流量計(電磁式/渦輪式)電極是否污染或渦輪卡滯。  
??三、壓縮機故障(無法啟動/過載跳閘)??  
??現象表現:??  
?壓縮機不啟動且無報警  
?運行中突然停機報“壓縮機過載”  
?異常振動與金屬摩擦聲  
??排查步驟:??  
1.電氣系統檢測:??  
?電壓穩定性:??測量三相電壓(允許偏差±10%),缺相或電壓驟降會導致保護。  
?接觸器觸點:??檢查主接觸器是否吸合,觸點是否燒蝕(有黑色碳化層需更換)。  
?熱繼電器復位:??過載后需手動復位(測試后仍跳閘則存在機械故障)。  
2.機械故障診斷:??  
?抱軸卡缸:??  
?手盤壓縮機聯軸器,若無法轉動需專業拆解(可能潤滑油不足或軸承磨損)。  
?檢查油位鏡(應在1/2~2/3),油色變黑需換油。  
?繞組短路:??  
?用萬用表測繞組電阻(三相間偏差應<5%),對地電阻應>100MΩ。  
?阻值異常需更換壓縮機。  
3.系統保護觸發:??  
???高壓保護:??冷凝器散熱不良(如風機停轉、冷卻水斷流)導致壓力>25bar。  
?低壓保護:??蒸發器結冰或冷媒嚴重不足(壓力<1bar)。  
??四、高頻報警:水位/水質異常??  
??現象表現:??  
?“水箱低水位”持續報警  
?電導率儀顯示水質超標(>10μS/cm)  
??處理方案:??  
?水位低:??  
?檢查浮球開關是否卡滯(手動撥動測試)。  
?排查補水電磁閥是否堵塞或斷電(測量線圈電阻)。  
?管路系統是否存在隱蔽泄漏(如泵密封圈老化)。  
?水質劣化:??  
?更換離子交換樹脂(DI水系統)。  
?排空水箱,用去離子水沖洗管路后重新注水。  
?檢查密封件(如EPDM密封圈)是否老化導致外界污染滲入。


作者: 大王叫我來巡山    時間: 2025-10-27 09:36
我很喜歡這個觀點,值得深思。
作者: 萬物靜默如謎    時間: 2025-12-5 06:46
樓主說得太對了!這些設備操作的注意事項太關鍵了~
作者: 站五渣    時間: 5 天前
我完全同意你的看法,確實如此。
作者: 傅的費油    時間: 4 天前
你的觀點和我的相似。




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