制造論壇-制造行業(yè)自己的交流社區(qū)!
標(biāo)題: 半導(dǎo)體Load Port的N2 Purge為什么要檢測(cè)氧氣濃度？ [打印本頁(yè)]
作者: chinaboy 時(shí)間: 2025-7-4 10:04
標(biāo)題: 半導(dǎo)體Load Port的N2 Purge為什么要檢測(cè)氧氣濃度？
在半導(dǎo)體制造過程中，保持晶圓的高潔凈度和低氧化風(fēng)險(xiǎn)是很重要的。Load Port作為EFEM（設(shè)備前端模塊）的關(guān)鍵組件之一，在傳輸晶圓時(shí)扮演著重要角色。通過N2 Purge功能向FOUP（Front Opening Unified Pod）載具內(nèi)填充氮?dú)猓∟2），可以有效降低晶圓的氧化風(fēng)險(xiǎn)，并維持其干燥狀態(tài)。工采網(wǎng)將詳細(xì)介紹熒光氧氣傳感器在這一過程中的應(yīng)用及其重要作用。
EFEM與Load Port概述
EFEM（設(shè)備前端模塊） 是一種在高潔凈環(huán)境下工作的晶圓前端傳輸系統(tǒng)，通過精密機(jī)械手將單片晶圓精準(zhǔn)地傳輸至工藝和檢測(cè)模塊。EFEM的核心部件包括：
Load Port：用于裝載和卸載晶圓載體。
半導(dǎo)體Load Port，也稱作晶圓裝卸機(jī)或晶圓載入機(jī)，是安裝在設(shè)備前端模塊（EFEM）的關(guān)鍵設(shè)備。它的主要功能是作為晶圓（Wafer）進(jìn)出EFEM的窗口，實(shí)現(xiàn)晶圓的自動(dòng)裝載和卸載。這一過程需要保持晶圓的潔凈度，以確保半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的質(zhì)量。
Load Port的設(shè)計(jì)支持卓越的可靠性和超凈性能，能夠最大程度地實(shí)現(xiàn)交互操作性、無縫互換性和易于配置。它與所有手動(dòng)或通過AMHS（自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)）車輛交付的符合SEMI要求的FOUP（前開式晶圓傳送盒）和自動(dòng)前開式裝運(yùn)箱（FOSB）兼容。
EFEM通過微環(huán)境控制，確保了晶圓傳輸過程的潔凈度，從而實(shí)現(xiàn)了從下線到出廠的全流程管理。
Load Port的N2 Purge功能
在半導(dǎo)體廠內(nèi)，Load Port的N2 Purge功能非常重要。它通過向FOUP載具內(nèi)填充惰性氣體（氮?dú)釴2），有效降低了晶圓的氧化風(fēng)險(xiǎn)，并維持其干燥狀態(tài)，確保FOUP內(nèi)部環(huán)境的穩(wěn)定性。該功能的特點(diǎn)包括：
- 遵循E84標(biāo)準(zhǔn)：確保設(shè)備的安全性和穩(wěn)定性。
- 自動(dòng)吹掃功能：支持N?/XCDA自動(dòng)吹掃，簡(jiǎn)化操作流程。
- 直觀的操作界面：配備狀態(tài)指示器和觸摸屏顯示器。
- 數(shù)據(jù)讀取器：集成RFID/SMART TAG數(shù)據(jù)讀取器，實(shí)現(xiàn)晶圓數(shù)據(jù)的快速追蹤。
- 安全裝置：采用存在/放置傳感器，確保作業(yè)過程中的安全性。
- 高效搬運(yùn)：支持OHT/移動(dòng)機(jī)器人的高效搬運(yùn)，提升作業(yè)效率。
- 兼容性：符合SECS/GEM、TCP/IP等協(xié)議標(biāo)準(zhǔn)，確保設(shè)備間的兼容性。
氧氣傳感器的應(yīng)用
為了進(jìn)一步提升N2 Purge功能的有效性，氧氣傳感器被廣泛應(yīng)用于檢測(cè)氮?dú)獬淙牒蟮难鯘舛龋源_保晶圓處于保護(hù)環(huán)境中。
SST熒光氧傳感器LOX-02就非常的適用。LOX-02直接測(cè)量氧偏壓，并且內(nèi)置了氣壓傳感器測(cè)量環(huán)境大氣壓，可以由此計(jì)算出氧濃度值。LuminOx 測(cè)量氧分壓和溫度。外加氣壓傳感器可以讓傳感器輸出氧氣濃度值和氣壓值；結(jié)合了電化學(xué)傳感器傳統(tǒng)上低功耗的優(yōu)勢(shì)，非消耗傳感原理使得它具有更長(zhǎng)的壽命。
LuminOx 有氧壓和溫度補(bǔ)償，使得它可以準(zhǔn)確工作于寬環(huán)境范圍而無需額外的補(bǔ)償系統(tǒng)。不像其他傳感器技術(shù)，LuminOx 非常穩(wěn)定和環(huán)保，不含鉛或其他任何有毒材料，并且不受其他氣體交叉干擾的影響。
通過在半導(dǎo)體Load Port的N2 Purge系統(tǒng)中應(yīng)用氧氣傳感器，可以有效降低晶圓的氧化風(fēng)險(xiǎn)，確保其在傳輸和存儲(chǔ)過程中的高潔凈度和穩(wěn)定性。英國(guó)SST的LOX-02 熒光氧傳感器憑借其高精度、長(zhǎng)壽命和寬環(huán)境適應(yīng)性，成為理想的選擇。
作者: 北斗不是孤星 時(shí)間: 2025-11-24 00:35
這個(gè)思路沒毛病，給了我很大的啟示。
作者: 100度的太陽(yáng) 時(shí)間: 2025-11-28 21:57
我也在尋找類似的答案，有人可以幫忙嗎？
作者: 秋天的童話 時(shí)間: 3 天前
干貨滿滿，點(diǎn)贊
| 歡迎光臨 制造論壇-制造行業(yè)自己的交流社區(qū)! (http://m.2021ok666.com/) |
Powered by Discuz! X3.5 |
国产凸凹视频一区二区_波多野给衣一区二区三区_国产高清精品一区_久久综合精品不卡一区二区
香蕉成人伊视频在线观看|
国产伦精品一区二区三区照片91|
国产欧美日韩91|
国产伊人精品|
国产欧美日韩精品a在线观看|
中文av一区特黄|
国内精品伊人久久久久av一坑|
国产欧美欧美|
午夜在线精品|
久久成人av少妇免费|
午夜宅男久久久|
欧美精品一区二区蜜臀亚洲|
免费成人高清|
久久综合五月|
免费日韩av|
国产欧美日本一区视频|
久久精品二区三区|
久久只有精品|
国产欧美日韩三级|
久久国产欧美日韩精品|
国产精品国产三级国产普通话三级|
欧美日韩视频在线|
欧美色图五月天|
国产精品一区二区在线观看|
国产精品久久久一区二区|
欧美性色aⅴ视频一区日韩精品|
国内揄拍国内精品久久|
久久高清福利视频|
国产精品乱码一区二区三区|
欧美精品福利|
狠狠色丁香久久婷婷综合_中|
狠狠干综合网|
欧美www在线|
欧美国产成人在线|
欧美午夜大胆人体|
亚洲欧美日韩在线不卡|
欧美一级大片在线免费观看|
欧美日韩一区二区三|
国产精品久久久一区二区三区|
亚洲免费中文字幕|
国产精品户外野外|
久久精品国产第一区二区三区|
国产精品视频xxxx|
久久阴道视频|
精久久久久久|
欧美日韩免费看|
欧美在线观看视频在线|
久久久亚洲国产天美传媒修理工
|
欧美激情中文字幕在线|
欧美精品1区|
亚洲一区二区三区三|
久久福利电影|
国产日韩精品入口|
亚洲午夜精品福利|
欧美日韩一区在线视频|
性18欧美另类|
国产亚洲一区在线播放|
亚洲欧美国产精品桃花|
国产精品高潮呻吟|
裸体歌舞表演一区二区|
欧美日韩无遮挡|
欧美一区二区三区另类
|
悠悠资源网久久精品|
久久一区二区三区四区|
国产精品入口麻豆原神|
久久人人爽国产|
中文国产成人精品久久一|
欧美在线高清|
国内外成人在线|
欧美日韩在线综合|
久久综合色天天久久综合图片|
亚洲视频在线播放|
国产精品女同互慰在线看|
噜噜噜久久亚洲精品国产品小说|
亚洲婷婷综合色高清在线|
国产伦理精品不卡|
欧美日韩的一区二区|
国产亚洲精品久|
欧美绝品在线观看成人午夜影视|
欧美一区二区三区婷婷月色|
国产资源精品在线观看|
欧美视频1区|
美女视频黄a大片欧美|
亚洲欧美精品|
激情综合激情|
国产精品一区一区|
欧美另类一区|
久久免费视频网站|
亚洲欧美大片|
在线国产日韩|
欧美电影专区|
欧美专区日韩视频|
在线免费不卡视频|
国产亚洲欧美日韩美女|
欧美日韩一区在线观看|
另类图片国产|
久久aⅴ国产紧身牛仔裤|
亚洲一区二区三区三|
狠狠狠色丁香婷婷综合久久五月
|
久久久久国产成人精品亚洲午夜|
欧美天堂亚洲电影院在线观看|
久久综合久久综合久久|
欧美一区二区三区四区视频|
亚洲无线一线二线三线区别av|
国产一区二区三区日韩|
国产精品综合av一区二区国产馆|
欧美日韩视频在线第一区|
欧美xxx在线观看|
久久久久国产精品一区|
国产精品久久97|
欧美人在线视频|
欧美激情一区二区三区成人|
麻豆免费精品视频|
老司机精品视频一区二区三区|
欧美在线www|
香蕉成人伊视频在线观看
|
精品不卡在线|
国产一区自拍视频|
国内自拍视频一区二区三区|
国产日韩一区|
国产婷婷色一区二区三区|
国产欧美日韩亚洲精品|
国产精品一区二区黑丝|
国产精品拍天天在线|
欧美丝袜第一区|
欧美日韩一区在线观看|
欧美日韩综合|
国产精品大片wwwwww|
欧美亚州一区二区三区|
国产精品国产精品国产专区不蜜|
国产精品久久久|
国产精品免费网站|
国产欧美一区二区三区久久人妖
|
亚洲综合电影一区二区三区|
欧美视频一区在线观看|
欧美日韩国产三级|
欧美三区在线观看|
欧美午夜在线|
国产精品一区二区a|
国产午夜久久久久|
精品99一区二区|
亚洲午夜激情|
欧美影院一区|
久久蜜桃精品|
欧美成人日本|
欧美日韩一区二区国产|
国产精品久久久久久久免费软件
|
亚洲视频1区|
亚洲欧美日韩精品久久久久|
性欧美暴力猛交另类hd|
欧美综合77777色婷婷|
开心色5月久久精品|
欧美黄色小视频|
欧美日韩专区|
国产亚洲成精品久久|
在线看视频不卡|
欧美中文字幕在线播放|
美日韩精品免费观看视频|
欧美绝品在线观看成人午夜影视
|
亚洲一级黄色|
欧美自拍丝袜亚洲|
农村妇女精品|
欧美日韩在线三区|
国产欧美日韩一区|
亚洲一二三区在线观看|
久久久噜噜噜久久中文字幕色伊伊|
欧美91视频|
国产精品成人国产乱一区|
国产无一区二区|
亚洲在线一区二区|
久久在线播放|
国产精品爱久久久久久久|
国产一区在线看|
欧美在线一区二区三区|
欧美成人午夜激情|
国产精品伦一区|
亚洲香蕉成视频在线观看|
久久精品一区蜜桃臀影院|
欧美激情乱人伦|
国产日韩亚洲欧美|
欧美亚洲一级片|
欧美精品亚洲二区|
国产人成精品一区二区三|
亚洲伊人第一页|
免费在线看一区|
国产精品一区二区久久久|
亚洲午夜精品17c|
男女av一区三区二区色多|
国产精品久久亚洲7777|
亚洲视频在线免费观看|
久久全国免费视频|
国产精品久久久久免费a∨大胸|
伊人久久大香线|
老巨人导航500精品|
国产精品美女久久久久久2018|
亚洲图片在区色|
欧美**人妖|
国产一区二区三区四区老人|
欧美一区免费|
国产精品jvid在线观看蜜臀|