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標題: 白光干涉儀的Z軸分辨率是 [打印本頁]

作者: 曉飛儀器 時間: 2025-6-26 08:41
標題: 白光干涉儀的Z軸分辨率是
　　白光干涉儀的Z軸分辨率指的是它在垂直方向（即與樣品表面平行的方向）上測量微小高度變化的能力。它通常與干涉儀的光學系統、測量條件、光源的波長等因素有關。
　　白光干涉儀Z軸分辨率的主要影響因素：
　　波長和光譜寬度：
　　白光干涉儀使用的是白光源，包含多個波長的光。其Z軸分辨率通常受到光源的波長寬度和光譜分辨率的影響。理想情況下，波長越短，分辨率越高。
　　對于寬光譜的白光源（如可見光），分辨率可能會較低，因為不同波長的光會在干涉時產生不同的干涉條紋，從而降低測量的精度。
　　光學路徑差與干涉條紋的變化：
　　Z軸分辨率通常與干涉條紋的變化有關。白光干涉儀通過分析不同路徑上的干涉圖樣來獲取垂直方向上的位移。如果干涉條紋之間的間距較小或條紋模糊，可能會影響Z軸分辨率。
　　儀器設計與探測器精度：
　　干涉儀的設計，如干涉光束的干涉方式、探測器的精度和采樣頻率等，都會影響Z軸分辨率。高分辨率的探測器能更準確地測量干涉圖樣的變化，進而提高Z軸分辨率。
　　樣品表面的質量與形貌：
　　如果樣品表面過于粗糙，或者存在不規則的形態變化，可能導致干涉條紋的模糊和不規則，進而降低Z軸分辨率。因此，樣品表面的平整度和質量會直接影響測量精度。

　　Z軸分辨率的一般范圍：
　　對于常見的白光干涉儀，Z軸分辨率通常可以達到以下幾個數量級：
　　0.1納米到幾納米：這取決于具體儀器的設計、光源的特性以及干涉圖樣的清晰度。在高端白光干涉儀中，Z軸分辨率可以達到亞納米級別，能夠精確測量非常微小的高度變化。
　　10納米到100納米：在較為普通的白光干涉儀中，Z軸分辨率一般在這個范圍內，仍能進行高精度的表面形貌測量。
　　因此，白光干涉儀的Z軸分辨率通常可以非常高，尤其是在應用于表面形貌檢測、薄膜厚度測量等領域時，它能提供非常精細的垂直位移或表面變化的測量能力。

作者: 脫發打工人 時間: 2025-12-2 06:22
我贊同你的分析，邏輯很清晰。

作者: 小蝸 時間: 2025-12-2 10:12
謝謝你的分享，讓我受益匪淺。

作者: 大北斗 時間: 2025-12-6 16:56
你的回答很有條理，我很喜歡。

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