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標題: 電子束光刻和euv光刻 [打印本頁]
作者: 聚焦納米儀器    時間: 2025-2-25 09:30
標題: 電子束光刻和euv光刻
　　電子束光刻（EBL）和極紫外光刻（EUV）是兩種用于制造納米級結構的先進光刻技術，各有特點和應用場景。

　　電子束光刻（EBL）
　　1.原理
　　電子束光刻：利用聚焦電子束在光刻膠上直接繪制圖案，通過控制電子束的掃描路徑和強度實現高精度圖案化。
　　2.優點
　　高分辨率：可達幾納米，適合制造極小結構。
　　無需掩模：直接繪制圖案，適合研發和小批量生產。
　　靈活性高：可快速修改設計，適合復雜圖案。
　　3.應用
　　研發：用于納米材料和器件的研發。
　　掩模制造：制造高精度光刻掩模。
　　小批量生產：用于特殊器件的小規模生產。

　　極紫外光刻（EUV）
　　1.原理
　　極紫外光刻：使用波長為13.5納米的極紫外光，通過反射光學系統和掩模將圖案投影到光刻膠上。
　　2.優點
　　高分辨率：可達幾納米，適合大規模生產。
　　生產效率高：適合大批量制造。
　　先進節點：適用于7納米及以下工藝節點。
　　3.應用
　　大規模生產：用于先進半導體器件的大規模制造。
　　先進節點：適用于7納米及以下工藝節點。
　　高密度集成電路：用于制造高密度存儲器和處理器。

　　對比總結
[attach]1689[/attach]

　　結論
　　1.電子束光刻：適合高精度研發和小批量生產，靈活但效率低。
　　2.極紫外光刻：適合大規模生產，效率高但成本昂貴。

　　兩者各有優劣，選擇取決于具體需求。

作者: 大餡餅    時間: 2025-3-28 01:38
這個討論讓我受益匪淺，感謝大家的貢獻。
作者: 星期四V50    時間: 2025-10-22 20:00
同意樓上的看法，一起支持！
作者: 677li    時間: 2025-11-5 04:05
你的建議很實用，我會嘗試去做的。
作者: 漫步人生路    時間: 7 天前
我之前也遇到過類似的情況，或許可以互相交流一下。
作者: 設備在線    時間: 3 天前
你的觀點讓我思考了很多！
作者: 9549872677    時間: 前天 06:51
我覺得這個解決方案有潛力，但需要更多數據支持。
作者: 顛勺喜劇人    時間: 昨天 15:51
謝謝樓主，感謝分享



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