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標(biāo)題: 掃描電子顯微鏡工作原理 [打印本頁(yè)]
作者: 123c 時(shí)間: 2024-11-23 08:14
標(biāo)題: 掃描電子顯微鏡工作原理
一、基本結(jié)構(gòu)掃描電子顯微鏡主要由真空系統(tǒng)、電子光學(xué)系統(tǒng)和電氣控制系統(tǒng)三大部分組成。其中，電子光學(xué)系統(tǒng)包括電子槍、聚光鏡、物鏡以及掃描系統(tǒng)等關(guān)鍵部件。
二、工作原理電子束的產(chǎn)生與聚焦：
- 由電子槍發(fā)射出電子束，這些電子在加速電壓的作用下被加速，并經(jīng)過(guò)聚光鏡和物鏡的聚焦，形成一個(gè)非常細(xì)且能量集中的電子束。
電子束的掃描：
- 聚焦后的電子束在樣品表面進(jìn)行逐行掃描。這一過(guò)程是通過(guò)掃描線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)來(lái)控制電子束的偏轉(zhuǎn)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。掃描線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)使得電子束在樣品表面以光柵狀掃描的方式逐點(diǎn)轟擊。
電子與樣品的相互作用：
- 當(dāng)高能電子束轟擊樣品表面時(shí)，會(huì)與樣品表面的物質(zhì)發(fā)生相互作用，激發(fā)出多種物理信號(hào)，如二次電子、背散射電子、特征X射線、連續(xù)譜X射線、俄歇電子、透射電子和吸收電流等。
信號(hào)的收集與轉(zhuǎn)換：
- 這些被激發(fā)出的物理信號(hào)會(huì)被相應(yīng)的接收器接收。其中，二次電子是最常用的信號(hào)之一，因?yàn)樗鼈兡軌蛴行У胤从硺悠繁砻娴男蚊蔡卣鳌＝邮盏降男盘?hào)經(jīng)過(guò)放大后，被送到顯像管的柵極上，用于調(diào)制顯像管的電子束強(qiáng)度，即熒光屏上的亮度。
成像過(guò)程：
- 由于掃描線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)與顯像管中的電子束掃描是同步的，因此樣品表面上的每一個(gè)點(diǎn)都會(huì)與熒光屏上的一個(gè)點(diǎn)一一對(duì)應(yīng)。這樣，樣品表面的形貌特征就被轉(zhuǎn)換成了熒光屏上的圖像。通過(guò)逐點(diǎn)成像的方式，掃描電子顯微鏡能夠構(gòu)建出樣品表面的高分辨率圖像。
三、特點(diǎn)與應(yīng)用掃描電子顯微鏡具有高分辨率、大景深、大視野和成像立體效果好等特點(diǎn)。它廣泛應(yīng)用于基礎(chǔ)科學(xué)研究、生產(chǎn)工藝控制、產(chǎn)品質(zhì)量鑒定等領(lǐng)域，如國(guó)防、航天、生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害鑒定、刑事偵察等。
作者: wuw 時(shí)間: 2024-11-23 16:27
你的帖子總是那么有用！
作者: 今天你困嗎 時(shí)間: 2024-11-23 23:08
感謝大家的耐心解答。
作者: 調(diào)料界相聲大師 時(shí)間: 2025-11-5 21:06
帖子內(nèi)容豐富，收藏一下。
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