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標題: 膜厚測量儀原理 [打印本頁]

作者: 瑞吉儀表儀器    時間: 2024-11-22 11:34
標題: 膜厚測量儀原理
膜厚測量儀是一種用于測量薄膜厚度的儀器,其原理主要基于光學干涉原理。下面詳細分析膜厚測量儀的工作原理:

1、光學干涉原理:光學干涉是指兩束光波相遇時互相干涉產生干涉條紋的現象。膜厚測量儀利用光學干涉原理來測量薄膜的厚度。當光波穿過薄膜時,由于薄膜的不同厚度會導致光波的傳播路徑長度發生變化,從而產生干涉現象。

2、干涉條紋:在薄膜表面和底部之間形成一系列干涉條紋,這些條紋的間距與薄膜的厚度有關,通過測量干涉條紋的間距或顏色變化,可以計算出薄膜的厚度。

3、測量原理:膜厚測量儀通常采用反射式或透射式干涉測量原理。反射式測量原理是光波反射在薄膜表面和底部形成干涉條紋,透射式測量原理是光波透過薄膜后再次干涉。通過測量干涉條紋的變化,計算出薄膜的厚度。

4、工作過程:膜厚測量儀通過發送一束穩定的光源,測量薄膜表面反射或透射的光波,并檢測干涉條紋的變化。根據干涉條紋的特征,計算出薄膜的厚度值。通常,膜厚測量儀還會配備相應的軟件來處理和分析測量數據,提高測量精度和準確度。

總之,膜厚測量儀利用光學干涉原理來實現對薄膜厚度的精確測量,具有高精度、非接觸性和快速測量的優勢,廣泛應用于光學薄膜、半導體、涂層等領域。


作者: 一頓吃三碗    時間: 2024-11-22 19:33
您的分析很透徹,受益匪淺,謝謝!
作者: keke    時間: 2024-11-22 20:40
希望能看到更多關于這個主題的討論。
作者: 九月十一日    時間: 2025-11-21 06:15
非常佩服樓主的耐心解答,每個問題都回答得那么詳細,這樣的精神值得我們學習!




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